如何保證真空滅弧室的氣密性
本文作者:大禹漢光 發布時間:2015-10-23
真空氣密性是影響真空滅弧室的性能及樹木的主要因素之一,因此真空撿漏是真空滅弧室制造工藝中可靠性保障的重要工序。電真空器件的結構特點及測量精度要求決定了氦罩法和噴吹法是電真空器件氦質譜檢漏技術中最常用方法。
氦質譜檢測技術以其漏點漏率可量化、靈敏度高、速度快、使用安全、適用范圍廣等特點,在航空、航天、汽車和電真空行業得到了廣泛的應用。與其他諸多傳統檢漏方法相比,氦質譜檢漏具有不可比擬的技術優越性。氦罩法和噴吹法是電真空器件氦質譜檢漏技術中最常用的兩種方法。氦罩法是對總漏率進行測定,當總漏率超出允許值后用噴吹法進行漏孔的準確定位。
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