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真空開關管真空度的情況直接關系到其使用壽命，因此對其真空度進行檢測是很有必要的，影響真空度測量準確性的因素很多，下文一一分析。
1、真空不規則放電
測量真空度時，應該要在動端和靜端或靜端和動端之間加一定的高壓。如果局部場強過高，很容易發生不規則放電現象。不規則放電是極間閃絡現象，會導致放電電流不穩定，從而影響真空度檢測的準確性。
2、連續測量
在測量真空度過程中，內部放電，則內部的氣體會等離子化，并且附著在電極等上，放電后會短暫的提高真空度。由于這個時候，開關管內部處于高真空狀態，電極表面吸附的氣體往往需要等到平衡時才能放出。
開關管內部有吸氣效應的話，一旦連續測量，就發現所檢測的真空度越測越高，從而影響到準確性，因此需要間隔一段時間再進行測量。
3、測量環境
測量真空度時，需要加上一定的電場和磁場，因此如果檢測周圍環境中存在影響其正常工作的電場和磁場，會影響到檢測結果的準確性。而且檢測環境的溫度過高過低，空氣相對濕度過高都會影響到檢測結果的準確性。
4、整管釬焊后溫度變化
在經過800℃的高溫真空釬焊后，可以讓開關管內的真空度提高，當開關管從800℃降至穩定的室溫溫度，真空度會發生變化，因此在真空管出爐后不可馬上進行真空度測試，應該要放置幾天后在進行檢測。
5、外部漏電流
開關管在真空爐內高溫焊接后會有金屬蒸發物附著在絕緣外殼的表面，而空氣中的灰塵也容易附著在開關管的外表面，灰塵會形成導電膜。在測量真空度時，在外加電壓的前提下，金屬蒸發物或灰塵都會產生泄漏電流，導致真空度檢測的準確性下降。
6、測量儀
測量儀器對真空度檢測的結果也會產生影響。
真空開關管真空度是一項很重要的參數，不僅關系到開斷的能力，而且也關系到用電安全性，因此在檢測真空度的時候，需要盡量的排除影響真空度測量準確性的一切因素，確保所檢測的真空度的準確性。
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